MEMS on lyhenne sanoista mikromoottorijärjestelmä. Valmiin tuotteen yksilöllinen pienoiskoko on millimetrin tai jopa mikronin tasolla. Sitä käytetään laajasti 5G-viestinnässä, turvavalvonnassa, teollisuusautomaatiossa, autoelektroniikassa ja muilla aloilla. Tässä vaiheessa voidaan sanoa, että lähes kaikkia elektronisia tuotteita sovelletaan MEMS:ään.
MEMS-laitteen edut: pieni koko, kevyt paino, helppo integrointi, alhainen virrankulutus, korkea herkkyys ja monia muita etuja. Ja voidaan valmistaa massatuotantona. Vaikka MEMS-pakkaus voidaan valmistaa massatuotantona, se ei ole universaali. MEMS-komponenttien eri toiminnallisten tyyppien mukaan komponenttien rakenne ja pakkausmenetelmät ovat erilaisia, ja dedikoitu tyyppi on korkeampi.
Chip-tason kokoonpanotekniikkaa käytetään yleisesti tässä vaiheessa. Luonnollisesti kokoonpanon tarkkuudelle, käyttöympäristölle ja linjausmenetelmille asetetaan melko tiukat vaatimukset.
MEMS-sirutason kokoonpanon vaikeudet
1. Korkea pakkaustarkkuusstandardi
MEMS-järjestelmäohjelmisto sisältää ainutlaatuisen datasignaalirajapinnan, kotelon, sisäseinän ja muut rakenteet, jotka vaikeuttavat asennon ja kulman säätöä poiminta- ja sijoittelun aikana koko MEMS-komponenttien ja monitoimialustojen lankaliitosprosessin aikana.
2. Materiaali on hauras ja helposti rikki
MEMS-laitteissa, kuten mikrokiihtyvyysantureissa, mikromoottoreissa jne., on yleensä sisäänrakennettuja mekaanisia rakenteita, kuten onteloita tai ulokkeita. Nämä rakenteet ovat kooltaan pieniä ja niiden mekaaninen lujuus on paljon pienempi kuin IC-sirut. Ne ovat erittäin herkkiä fyysiselle kosketukselle kokoonpanon ja muiden prosessien aikana.
Monet MEMS-laitteen osat eivät ole vain kooltaan pieniä, vaan myös hauraita ja hauraita, kuten syvät urat ja sektorit, joten liimauksen aikana käytettävä työpaine on erittäin tärkeä. Jos työpaine on liian pieni, liitäntä ei ole tiivis; jos työpaine on liian korkea, komponentit vaurioituvat.
Voidaan nähdä, että tarkat tarkkuustasot ja sidosamplitudit ovat välttämättömiä edellytyksiä MEMS-radiotaajuuslähetin-vastaanottimen asennuksen läpäisynopeuden parantamiselle.
Kun MEMS-laitteen paksuus on 50-150 μm, valittu lankaliitoksen työpaine on 50-100 g ja kiertosiirtymän tulee olla alle 0,3°, jotta komponenttien vaurioita voidaan vähentää suuressa määrin. , ja noudattamista voidaan parantaa. Rate.
Erittäin tarkka kohdistus, paikkatyyppi, läpäisynopeuden varmistamiseksi
Mikronitason takaisinkytkentä tarkkojen tietotietojen saamiseksi, ±0,01 N voimansäätötarkkuus, ±2 μm:n lineaarisen toistettavuuden tarkkuustaso, ±0,01°:n kiertotoistettavuuden tarkkuustaso, säteittäinen taipuma alle 10 μm, kooderin resoluutio 1 μm, saatavana vakaana ulostulona jopa korkealla -nopeustoiminta, parantaa kelpoisuusastetta ja vakautta.
Tyhjiöimu, säädettävä työpaine, vähentää kulutusta
Guoao-lineaarinen pyörivä moottori käyttää onttoa Z-akselia, varattu henkitorven pistorasia, tyhjiöimu, plug and play, ja voi tarjota räätälöityjä palveluja komponenttien rakenteen ja ominaisuuksien perusteella;
Sisältää"pehmeä lasku" toiminto, joka voi suorittaa vakaan voimansäädön ±1,5 g:n sisällä ja voi mukauttaa parametreja, kuten nopeutta, kiihtyvyyttä ja voiman ohjausta, jotta sijoituspää voi koskettaa MEMS-komponentteja erittäin tarkalla työpaineella, mikä vähentää tyhjentymistä.
& quot;Z+R" akseliin integroitu suunnittelu nopeuden lisäämiseksi
Innovatiivinen kaksiakselinen integroitu ratkaisu yhdistää perinteisen"servomoottorin + kuularuuvin" yhdeksi, joka pystyy hyvin käsittelemään Z-akselin omapainokuormitusongelmaa, ja täydellinen komponentti Pick& Paikka, sijoittaminen ja muut toiminnot suurella nopeudella ja tarkkuudella. Työntövoima Käyrä on tasainen, työntövoiman huippu on 8-50 N, tehollinen isku on 10-50 mm ja erittäin pitkä käyttöikä mahdollistaa tehokkaan tuotannon.
